Integrated Modeling of Chemical Mechanical Planarization for Sub-micron Ic Fabrication: From Particle Scale to Feature, Die and Wafer Scales [Anglais] [Broch�]

Jianfeng Luo (Auteur), David Dornfeld (Auteur)

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D�tails sur le produit

Broch�: 336 pages
Editeur�: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. K; �dition : Softcover reprint of hardcover 1st ed. 2004 (15 d�cembre 2010)
Langue : Anglais
ISBN-10: 364206115X
ISBN-13: 978-3642061158

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